Oberflächenveredelung
Kurzbeschreibung:
Labor für Oberflächenveredelung
Laborausstattung:
Eichstand für Vakuumerzeugung und Vakuummessung im Grob-, Fein- und Hochvakuumbereich Eichstand für Massenflußregler im sccm- und sl-Bereich Produktions-PE-CVD-Anlage mit Spektrometer f. opt. Emissionsspektroskopie, energiedispersivem Massenspektrometer High-End-CVD-Anlage mit Diff.-Pumpe und neuentwickelter Kühlfalle E-Beam-Aufdampfanlage RF-Dioden-Sputteranlage
Themengebiete für Abschluss- und Projektarbeiten oder mögliche Kooperationen:
Beschichtung vorzugsweise ebener Substrate mit Metallen und Dielektrika mittels RF-Dioden-Sputtern oder E-Beam-Aufdampfen Beschichtung von Kapillaren mit antibakteriellen Schichten Beschichtung mit verschiedenen Polyparylenen mittels (PE)CVD Physikalisch-chemische Diagnostik der Dämpfe und Plasmen Chemische und mikrobiologische Analytik der abgeschiedenen Filme
In Zusammenarbeit mit externen Partnern durchgeführte Projekte:
Univ.-Klinikum Schleswig-Holstein in Lübeck Fa. Plasma Parylene Services in Rosenheim
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Verantworlich für die Angaben der Laborseite: FZ. Letzte Änderung: 2013-05-22 14:07:14