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Aktuelles

Datenschutzhinweis


Die Fakultät für angewandte Naturwissenschaften und Mechatronik schätzt die Kommunikationsmöglichkeiten, die Soziale Medien bieten.
Sie macht jedoch darauf aufmerksam, dass bereits durch das Anklicken von Links zu diesen Diensten eine Übermittlung personenbezogener Daten erfolgen kann.

Dies ist unabhängig davon, ob Sie selbst Mitglied des sozialen Netzwerks sind oder nicht. Diese Daten könnten technisch zum Aufbau eines personenbezogenen Profils genutzt werden.

Die Fakultät für angewandte Naturwissenschaften und Mechatronik hat keine Kontrolle über die ausgelösten Vorgänge. Mit dem Anklicken dieser Links verlassen Sie den von der Fakultät kontrollierten und verantworteten Bereich. Beachten Sie auf jeden Fall die Datenschutzregelungen und -einstellungen der Anbieter.

@HAW_Muenchen_06


Vorlesungsverschiebungen

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@Vorlesung_FK06


Nanostrukturtechnik

Kurzbeschreibung:


Kompetenzzentrum für Nanostrukturtechnik: Prozess-Entwicklung zur Strukturierung von III/V-HL (Laserdioden), Plasmaquellen-Entwicklung, Diagnostik von Niederdruckplasmen

Laborausstattung:


RIE-Anlage mit ECR-Quelle,
RIE-Anlage mit ICP-Quelle

Themengebiete für Abschluss- und Projektarbeiten oder mögliche Kooperationen:


Reaktive Trockenätzprozesse
Diagnostik hochreaktiver Hochdichteplasmen mit Langmuir-Sonde, Optischer Emissionsspektroskopie, energiedispersiver Massenspektrometrie und Z-Scan

In Zusammenarbeit mit externen Partnern durchgeführte Projekte:


ECR: Basis-Strukturierungs-Anlage im Rahmen der Kooperation zwischen der TUM (Walter-Schottky-Institut) und der HM, Vanguard-Anlage auch für Metall-Ätzungen
ICP: Beschränkung auf III/V-Halbleiter und Diagnostik
www.gerhard-franz.org – Projekte
www.gerhard-franz.org – CC Nanostrukturtechnik
DFG-Projekt: PhD-Arbeit über Korrelation von Plasmakenngrößen mit präparativen Parametern ab 01-04-2012

Labor-Homepage:

fk06.hm.edu/lod/index.php/de

Raum:

Walter-Schottky-Inst

Tel:

089/1265-089/2891-1518, 089/1265-1698

Laborleitung:

Prof. Dr. Gerhard Franz
Tel.: 089/1265-1698
info gerhard-franz.org




Verantworlich für die Angaben der Laborseite: FZ. Letzte Änderung: 2015-01-02 18:42:17

 

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