FK06:
(Aktuelles)



Vorlesungen FK06:
(Vorlesungsverschiebungen)

Nanostrukturtechnik

Kurzbeschreibung:


Kompetenzzentrum für Nanostrukturtechnik

Laborausstattung:


RIE-Anlage mit ECR-Quelle,
RIE-Anlage mit ICP-Quelle

Themengebiete für Abschluss- und Projektarbeiten oder mögliche Kooperationen:


Reaktive Trockenätzprozesse
Diagnostik hochreaktiver Hochdichteplasmen mit Langmuir-Sonde, Optischer Emissionsspektroskopie, energiedispersiver Massenspektrometrie und Z-Scan

In Zusammenarbeit mit externen Partnern durchgeführte Projekte:


ECR: Basis-Strukturierungs-Anlage im Rahmen der Kooperation zwischen der TUM (Walter-Schottky-Institut) und der HM, Vanguard-Anlage auch für Metall-Ätzungen
ICP: Beschränkung auf III/V-Halbleiter und Diagnostik
www.gerhard-franz.org – Projekte
www.gerhard-franz.org – CC Nanostrukturtechnik
DFG-Projekt: PhD-Arbeit über Korrelation von Plasmakenngrößen mit präparativen Parametern ab 01-04-2012

Labor-Homepage:

www.gerhard-franz.org

Raum:

Walter-Schottky-Inst

Tel:

089/1265-089/2891-1518, 089/1265-1698

Laborleitung:

Prof. Dr. rer. nat. Gerhard Franz
Tel.: 089/1265-1698
info @ gerhard-franz.org

Korrespondierend:

Belegschaft:

Dipl.-Phys. Andreas Reichel
Tel.: 089/289-11518
homebase_ar @ web.de


Verantworlich für die Angaben der Laborseite: FZ. Letzte Änderung: 2013-04-08 15:42:08

 

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