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Datenschutzhinweis


Die Fakultät für angewandte Naturwissenschaften und Mechatronik schätzt die Kommunikationsmöglichkeiten, die Soziale Medien bieten.
Sie macht jedoch darauf aufmerksam, dass bereits durch das Anklicken von Links zu diesen Diensten eine Übermittlung personenbezogener Daten erfolgen kann.

Dies ist unabhängig davon, ob Sie selbst Mitglied des sozialen Netzwerks sind oder nicht. Diese Daten könnten technisch zum Aufbau eines personenbezogenen Profils genutzt werden.

Die Fakultät für angewandte Naturwissenschaften und Mechatronik hat keine Kontrolle über die ausgelösten Vorgänge. Mit dem Anklicken dieser Links verlassen Sie den von der Fakultät kontrollierten und verantworteten Bereich. Beachten Sie auf jeden Fall die Datenschutzregelungen und -einstellungen der Anbieter.

@HAW_Muenchen_06


Vorlesungsverschiebungen

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@Vorlesung_FK06


Dünnschichttechnik

Kurzbeschreibung:


Entwicklung von Prozessen zur Beschichtung (RF-Dioden-Sputtern, chemische Dampfabscheidung, E-Beam-Dampfen) und Abtrag (reaktives Ionenätzen, Nassätzen) im Mikrometer-Maßstab

Laborausstattung:


Beschichtung: RF-Dioden-Sputtern, CVD, PE-CVD, Elektronenstrahl-Verdampfen

Abtrag in Plasmen (RIE): angeregt durch Mikrowellen (2,45 GHz) und Radiofrequenz (13,56 MHz)

Oberflächen-Analytik: Lichtmikroskopie, Profilometer

Plasma-Analytik: Langmuir-Sonde, (ortsaufgelöste) optische Emissions-Spektroskopie, energiedispersive Massenspektrometrie, normale Massenspektrometrie zur Endpunktdetektion und Restgasanalyse über eine angekoppelte Druckstufe, SEERS, Z-Scan

Themengebiete für Abschluss- und Projektarbeiten oder mögliche Kooperationen:


BMBF-Projekt Poly-Parylen I (01. Jan. 2005 - 31. Juli 2006) --- www.gerhard-franz.org --- Projects
BMBF-Projekt Poly-Parylen II (01. Apr. 2009 - 31. März 2012) --- www.gerhard.franz.org --- Projects

In Zusammenarbeit mit externen Partnern durchgeführte Projekte:


www.gerhard-franz.org --- Working Fields + Most Recent Lectures

Labor-Homepage:

fk06.hm.edu/lod/index.php/de

Raum:

M 007 (Keller), M 206b

Tel:

089/1265--3680, 089/1265--3683

Laborleitung:

Prof. Dr. Gerhard Franz
Tel.: 089/1265-1698
info gerhard-franz.org

Belegschaft:

Armin Hadzimujic
Tel.: 089/1265-3680
armin.hadzimujic hm.edu

M.Sc. Hamideh Heidari-Zare
Tel.: 089/1265-3684
hamideh.heidari-zare hm.edu

Dr. rer. nat. Vladimir Sushkov
Tel.: 089/1265-3684
vladimir.sushkov hm.edu




Verantworlich für die Angaben der Laborseite: FZ. Letzte Änderung: 2015-01-02 18:38:54

 

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